
作为中国集成电路科学与工程领域的顶尖教学与研究机构,北京大学集成电路学院所从事的前沿工艺探索,对工艺环境的控制精度、稳定性和可靠性提出了近乎严苛的要求。本次引入的成都森可瑞压力控制器,主要负责在化学气相沉积(CVD)、原子层沉积(ALD)等尖端工艺中,维持反应腔体内压力的极致稳定,其性能直接关系到纳米级薄膜材料生长的均匀性与质量,是影响芯片性能与良率的关键因素之一。
学院项目负责老师在谈及此次采购时表示:“在追求器件极限性能的科研道路上,每一个工艺步骤的控制精度都至关重要。我们经过多轮严格的比对和测试,最终选定的成都森可瑞压力控制器,在控制精度、长期稳定性和抗干扰能力等方面,均出色地满足了我们的科研需求。这不仅证明了国产工艺装备已经达到了国际先进水平,其卓越的性价比和本地化快速响应的技术服务,也为我们的科研攻关提供了更高效、更可靠的装备保障。”
成都森可瑞科技有限公司的负责人表示:“能够为北京大学集成电路学院这一中国集成电路领域的‘国家队’提供产品与服务,我们深感荣幸与责任重大。这次合作是对我们技术实力和产品可靠性的最高认可。我们将以此为契机,持续加大研发投入,为中国的集成电路产业与科研事业提供更多、更好的自主可控的高端装备支撑。”
业界观察人士认为,此次合作超越了普通的设备采购,具有深远的行业示范效应。它清晰地表明,以成都森可瑞为代表的国内科技企业,正凭借过硬的技术实力,逐步打破国外厂商在关键工艺控制设备领域的长期垄断。这一“产-学-研”紧密结合的成功案例,不仅为国内高校和科研机构提供了装备自主化的信心,也为我国集成电路产业链的安全与可持续发展奠定了更为坚实的基础。
关于北京大学集成电路学院:
北京大学集成电路学院是服务于国家重大战略需求,致力于集成电路科学与工程学科建设、前沿科学研究与高层次人才培养的顶尖机构,旨在攻克芯片设计、制造、材料及装备等领域的核心关键技术。
关于成都森可瑞科技有限公司:
成都森可瑞科技有限公司是一家专注于为半导体、真空、科研及高端制造领域提供高性能流体控制设备(如质量流量控制器、压力控制器)及解决方案的高新技术企业。