离子束加工的基本原理
所谓离子束抛光，就是把惰性气体氩、氮等放在真空瓶中，用高频电磁振荡或放电等方法对阴极电流加热，使之电离成为正离子，再用5千至10万伏高电压对这些正离子加速，使它们具有一定的能量。利用电子透镜聚焦，将它们聚焦成一细束，形成高能量密度离子流，在计算机的控制下轰击放在真空室经过精磨的工件表面，从其表面把工件物质一个原子一个原子地溅射掉。
-离子束加工的基本原理-
可见，离子束加工的原理和电子束加工基本类似，也是在真空条件下，将离子源产生的离子束经过加速聚焦，使之撞击到工件表面。用这种方法可对工件表面进行深度从100埃到10微米左右的精密加工。
离子束的加工装置主要由包括质量流量控制器、离子源、真空系统、控制系统和电源等。
离子束加工的主要特点
离子束加工是目前比较高端的超精密加工技术，具有以下特点：
1、属于原子级逐层去除加工，加工精度高。
2、非接触式加工，不会产生应力和变形。
3、加工速度很快，能量使用率可高达90%。
4、加工过程可自动化。
5、在真空腔中进行，污染少，材料加工表面不氧化。
6、电子束加工需要一整套专用设备和真空系统，价格较贵。
-离子束抛光机-
图片来自：四川至臻精密光学有限公司
