DCP系列压力式质量流量控制器

DCP系列压力式质量流量控制器是一款应用于先进半导体制造工艺的流量测控模块，其基于压差式计量原理实现了更宽范围的流量控制精度。
另外，通过在MFC的入口处额外增加一款高度灵敏的压力传感器，使得DCP系列质量流量控制器具备了优秀入口压力不敏感特性，有效的规避了上游和旁路压力波动对流量的影响。