HE系列产品是一款超洁净高效流体换热器，即一定流量的洁净气体在通过HE内部管路时，与管路内部表面充分接触，并且因为温度差异发生热量交换转移，从而使该气体温度升高，在流出时能达到预设定温度(目前支持流量最高为10slm及50slm两款，另外最高预设定温度均可达200°C)，该装置广泛应用于半导体行业。